太陽光発電洗浄システムの粉塵制御

TCO導電膜堆積物

太陽光発電産業では、透明導電性酸化物 (TCO) 膜を堆積するプロセスには、シリコン基板上に薄い導電性の透明な層を作成するスパッタリングや化学蒸着 (CVD) などの方法が含まれます。

これらの TCO 層は、酸化インジウムスズ (ITO) やアルミニウムドープ酸化亜鉛 (AZO) などの材料で作られることが多く、太陽電池の光吸収を最大限に高めるための高い透明性を維持しながら、導電率を高める上で重要な役割を果たします。 TCO 成膜の精度と品質は、太陽電池の効率と性能に大きな影響を与えます。

ソリューション

TCO 層の品質と性能を維持するには、TCO 成膜プロセス中の効果的なダスト制御が不可欠です。粉塵粒子により TCO フィルムが汚染され、導電性と透明性が低下する欠陥が生じる可能性があります。

クリーンルーム環境、高度な空気濾過システム、成膜装置の定期メンテナンスなどの粉塵制御対策を導入することで、微粒子汚染を最小限に抑えることができます。これらの実践により、TCO フィルムがその光電子特性を最大化する環境で堆積されることが保証され、それによって太陽電池の全体的な効率と信頼性が向上します。